寺庙超度法事流程大致可分为以下几个步骤：首先，请柬上印有所有亡灵姓名及出生年、月、日、时等信息，参加法事的法师必须面见亡者家属。在为亡者家属进行入棺仪式前，法师要为每一个亡灵诵经，并告知其家属亡灵的姓名和特征。
然后，将纸钱、布匹、火柴等物品一一置于每一个亡灵灵前，法师会要求家属向亡灵鞠躬致敬，并念诵经文。亡灵家属必须依照法师指示将不同物品放入法器中，法师会在完成每一步之后向亡灵致意，并将这些物品放置在亡灵前。
在法事过程中，法师通常会在灵位前为亡灵念诵经文、念诵《地藏经》、《往生咒》等经文，通过这种方式，法师可以引导亡灵往生西方极乐世界。在法事结束后，法师会与家属分享亡灵的福报，并教家属怎样做能让亡灵享受到更多的福报。
最后，法师会与家属告别，并教导家属有关亡灵往生后的超度事项。如果亡者有夙愿未了，法师会建议家属进行丧葬仪式，以帮助亡者完成夙愿。总体来说，超度法事是一种通过宗教仪式和宗教信仰，帮助亡者消除业障，得到解脱的宗教仪式。
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